一种固体介质层谐振器及其制备方法
本发明公开了一种固体介质层谐振器及其制备方法,该固体介质层谐振器的驱动电极和传感电极的极板为梳齿状结构,内嵌在谐振体结构中,谐振体与极板通过固体绝缘介质层隔离。该谐振器的制备基于微机械加工工艺,与IC工艺兼容;梳齿状的极板结构增大了传感和驱动电极的面积,从而减小了其输入输出阻抗,增加了器件的匹配能力和信噪比;固体介质层的应用使电容极板间隙宽度容易控制,避免了空气介质造成的阻尼;本发明的固体介质层谐振器工作在体模态,在空气中即可高频、高Q值工作。
发明专利
CN201010107920.5
2010-02-05
CN102148613A
2011-08-10
H03H9/24(2006.01)I
北京大学
刘毅;于晓梅
100871 北京市海淀区颐和园路5号
北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 11200
李稚婷
北京;11
一种固体介质层谐振器,包括谐振体、驱动电极、传感电极、偏置电极,相应的支撑锚点和硅衬底,所述谐振体、驱动电极、传感电极、偏置电极通过锚点支撑于硅衬底上,其中:谐振体是悬空的结构;驱动电极和传感电极均由极板、焊盘和连接极板与焊盘的连接线构成,所述极板为梳齿状结构,内嵌在谐振体中,谐振体与极板通过固体绝缘介质层隔离,所述焊盘位于谐振体外,焊盘上设有金属电极;偏置电极一端与谐振体电连接,另一端为焊盘,焊盘上设有金属电极。