弹性表面波装置

摘要：

本发明提供一种机电耦合系数(k2)大且插入损失低，并且具有高耐静电性的弹性表面波装置。在压电体(10)上形成有多根槽(10a)。IDT电极(37)的电极指(31a、31b)具有：位于槽(10a)的内部的第一电极层(21)、形成在第一电极层(21)上且位于比槽(10a)的上端面靠上侧的位置的第二电极层(22)。在弹性表面波装置(1)中，第一电极层(21)的平均密度(ρa)的3次方与第一电极层的平均刚度(C44a)之积的1/2次方(ρa3×C44a)1/2比第二电极层(22)的平均密度(ρb)的3次方与第二电极层(22)的平均刚度(C44b)之积的1/2次方(ρb3×C44b)1/2大。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200980150881.2

申请日期：2009-11-25

公开/公告号：CN102257729A

公开/公告日：2011-11-23

主分类号：H03H9/145(2006.01)I

申请/专利权人:株式会社村田制作所

发明/设计人:木村哲也;门田道雄

主申请人地址:日本京都府

专利代理机构:中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人:张宝荣

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种弹性表面波装置，其特征在于，具有：压电体，其形成有多根槽；IDT电极，其具有一部分位于所述多根槽内的多根电极指，所述电极指具有：位于所述槽的内部的第一电极层、形成在所述第一电极层上且位于比所述槽的上端面更靠上侧的位置的第二电极层，所述第一电极层的平均密度ρa的3次方与所述第一电极层的平均刚度C44a之积的1/2次方(ρa3×C44a)1/2比第二电极层的平均密度ρb的3次方与第二电极层的平均刚度C44b之积的1/2次方(ρb3×C44b)1/2大。