可调滤波器

摘要：

提供一种可调滤波器，能够提高所利用的弹性表面波谐振器的机电耦合系数，由此能够扩大相对带宽。可调滤波器(1)包括弹性表面波谐振器(11)和连接到弹性表面波谐振器的可变电容器(4-8)，对于弹性表面波谐振器(11)，在由LiNbO3或LiTaO3构成且在上表面上具有凹部的压电基板(12)的上表面的凹部(12a)中埋入电极材料从而形成IDT电极(13)，以覆盖压电基板(12)的上表面的方式设置ZnO膜(15)。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200980143824.1

申请日期：2009-11-16

公开/公告号：CN102204091A

公开/公告日：2011-09-28

主分类号：H03H9/145(2006.01)I

申请/专利权人:株式会社村田制作所

发明/设计人:门田道雄

主申请人地址:日本京都府

专利代理机构:中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人:樊建中

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种可调滤波器，包括：弹性表面波谐振器，以及可变电容器，其连接到所述弹性表面波谐振器；所述弹性表面波谐振器具有：压电基板，其由LiNbO3或LiTaO3构成，且在上表面上具有凹部；IDT电极，其通过在所述压电基板的上表面的凹部中埋入电极材料而形成；以及ZnO膜，其以覆盖所述压电基板的上表面的方式设置。