改进MEMS谐振器

摘要：

一种微机电谐振器包括具有各向异性的方向性弹性特性的材料。谐振器的形状使得从谐振器的质心到谐振器的外围边缘上第一点的第一方向上的第一距离大于从质心到边缘上不同的第二点的第二方向上的第二距离。对于每一第一方向和每一第二方向，材料在第一方向上的弹性模量小于在第二方向上的弹性模量。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200980117911.X

申请日期：2009-05-08

公开/公告号：CN102037644A

公开/公告日：2011-04-27

主分类号：H03H9/24(2006.01)I

申请/专利权人:NXP股份有限公司

发明/设计人:彼得·G·斯蒂内肯

主申请人地址:荷兰艾恩德霍芬

专利代理机构:中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人:倪斌

国别省市代码:荷兰;NL

权利要求：

一种微机电谐振器(44)，包括具有各向异性的方向性弹性特性的材料，其中谐振器(44)的形状使得从谐振器的质心到谐振器(44)的外围边缘上第一点的第一方向上的第一距离大于从质心到边缘上不同的第二点的第二方向上的第二距离，对于每一第一方向和每一第二方向，材料在第一方向上的弹性模量小于在第二方向上的弹性模量。