弹性边界波装置

摘要：

本发明提供一种具有三介质结构且能够抑制不希望的横模式脉动的弹性边界波装置。一种弹性边界波装置具备：由LiTaO3单结晶形成的压电基板；层叠在所述压电基板上，且由电介质形成的第一介质层；层叠在所述第一介质层上，且由音速与形成第一介质层的所述电介质不同的电介质形成的第二介质层；配置在所述压电基板和所述第一介质层的边界的至少一个交叉指型电极，其中，所述第一介质层的膜厚为H，所述交叉指型电极的膜厚为h，交叉指型电极中的电极指的周期为λ，形成交叉指型电极的金属的密度的相对于Au的密度的比为a时，第一介质层的音速比LiTaO3的音速慢，第二介质层的音速比LiTaO3的音速快，(h/λ)×a≤0.05。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200980115395.7

申请日期：2009-03-31

公开/公告号：CN102017407A

公开/公告日：2011-04-13

主分类号：H03H9/145(2006.01)I

申请/专利权人:株式会社村田制作所

发明/设计人:山根毅;中尾武志

主申请人地址:日本京都府

专利代理机构:中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人:张宝荣

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种弹性边界波装置，其特征在于，具备：由LiTaO3单晶形成的压电基板；层叠在所述压电基板上，且由电介质形成的第一介质层；层叠在所述第一介质层上，且由音速与形成第一介质层的所述电介质不同的电介质形成的第二介质层；配置在所述压电基板和所述第一介质层的边界的至少一个交叉指型电极，所述第一介质层的膜厚为H，所述交叉指型电极的膜厚为h，交叉指型电极中的电极指的周期为λ，形成交叉指型电极的金属的密度的相对于Au的密度的比为a时，第一介质层的音速比LiTaO3的音速慢，第二介质层的音速比LiTaO3的音速快，(h/λ)×a≤0.05。