体声波谐振器
一种谐振器,包括底部电极层(12)、限定谐振器体的顶部电极层(10),以及夹在顶部和底部电极层之间的压电层(14)。围绕谐振器体的外围的外部提供外部区(152)。外部区(152)的第一谐振模式的截止频率与谐振器体的不同的第二谐振模式的截止频率相匹配。本发明提供了外部区中谐振模式的截止频率的慎重改变(典型地增加),使得模式之一具有接近谐振器体的基本模式的截止频率的截止频率。
发明专利
CN200980115199.X
2009-04-24
CN102017405A
2011-04-13
H03H9/02(2006.01)I
NXP股份有限公司
安德烈亚斯·B·M·扬斯曼;伦西奈斯·C·史丹博斯;埃里克·斯帕恩;简-威廉·洛贝克
荷兰艾恩德霍芬
中科专利商标代理有限责任公司 11021
王波波
荷兰;NL
一种谐振器,包括:底部电极层(12);限定谐振器体的顶部电极层(10);以及夹在顶部和底部电极层之间的压电层(14),其中,围绕谐振器体的外围的外部提供外部区(152),其中,外部区(152)的第一谐振模式的截止频率与谐振器体的不同的第二谐振模式的截止频率相匹配。