微型机械谐振器

摘要：

本发明提供一种微型机械谐振器(1)，其具备：高电介质基板(2)；扭转振动体(11)，其一端为固定于高电介质基板(2)的固定端，另一端为自由端。扭转振动体(11)为大致圆板状，且下表面为固定于基板(2)的固定端，上表面为未被固定的自由端。扭转振动体(11)以连结固定端端面的圆中心和自由端端面的圆中心的轴(扭转振动轴)为中心进行扭转振动。由此，能够实现制造容易且高Q值化的微型机械谐振器。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200980105881.0

申请日期：2009-02-16

公开/公告号：CN101971495A

公开/公告日：2011-02-09

主分类号：H03H9/24(2006.01)I

申请/专利权人:三洋电机株式会社%学校法人立命馆

发明/设计人:玉野晃正;冈田光广;铃木健一郎

主申请人地址:日本国大阪府

专利代理机构:中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人:刘建

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种微型机械谐振器，其具备：高电介质基板(2)；扭转振动体(11)，其一端为固定于所述高电介质基板的固定端，另一端为自由端。