炉体温度梯度实时可调机构

摘要：

一种炉体温度梯度实时可调机构，涉及晶体生长设备和高温设备，属于晶体生长设备和半导体设备制造技术领域，主要为炉体，由炉壁和炉盖构成，炉盖放置在炉壁上下端面，其特征在于：所述炉壁和上下炉盖在垂直方向上分成一层或多层，在水平方向上分成一块或多块。有益效果是将炉壁分割成若干个独立室、炉盖也分割成若干个独立冷却室的炉膛，在应用中每个腔室的冷却流体、液体或气体的温度和流量都可以分别控制，控制每个小腔室的流量和温度，就可以在炉膛的空间内实现对温度梯度的精确控制。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN200920210231.X

申请日期：2009-09-27

公开/公告号：CN201514120U

公开/公告日：2010-06-23

主分类号：F27D1/00(2006.01)I

申请/专利权人:上海元亮光电科技有限公司

发明/设计人:黄小卫

主申请人地址:201800 上海市嘉定区马陆镇嘉戬公路328号6幢底层

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种炉体温度梯度实时可调机构，主要为炉体，由炉壁和炉盖构成，炉盖放置在炉壁上下端面，其特征在于：所述炉壁和上下炉盖在垂直方向上分成一层或多层，在水平方向上分成一块或多块。