一种平底石英坩埚
一种平底石英坩埚,属于坩埚炉技术领域,包括锅壁和锅底,锅壁和锅底为一整体,锅壁为圆柱形,锅底为平面形。锅壁底部和锅底相交处为圆弧形,圆弧弧度较小。本实用新型优点在于单晶硅拉制收尾前,长晶硅料在圆形坩埚底部剩余较少,节省了加工硅料,降低了生产成本;在高温加工过程中,石英坩埚内液面径向的温度、梯度改变较小或者不改变,对长晶非常有利,提高了产品质量。
实用新型
CN200920153986.0
2009-05-20
CN201421252
2010-03-10
F27B14/10(2006.01)I
余姚市晶英电弧坩埚有限公司
黄乃军;黄 洁
315450浙江省余姚市马渚镇东横路98号
浙江;33
1.一种平底石英坩埚,包括锅壁和锅底,锅壁和锅底为一整体,锅壁为圆柱形,其特征在于:锅底为平面形。