坩埚升降机构
一种坩埚升降机构,包括机架、坩埚转轴、磁流体和磁流体安装座,所述机架设置为采用矩形管与钢板混合焊接成门型结构;所述机架设置线性导轨,所述线性导轨之间设置筒型的磁流体安装座,所述磁流体安装座内设置磁流体,所述磁流体安装座与滚珠丝杆连接;所述滚珠丝杆一端与机架连接,所述滚珠丝杆另一端与减速器连接;所述减速器通过进行切换的电磁离合器与慢速升降电机连接,所述减速器也与快速升降电机连接;所述滚珠丝杆设置带动磁流体安装座上下运动的螺母。机架为高刚性的门型结构,筒型铸件的磁流体安装座具有高刚性,并保证重量分散作用和减震作用。滚珠丝杆、线性导轨保证快速和慢速上升时的稳定性,不发生蠕动现象。
实用新型
CN200920070823.6
2009-04-21
CN201402043
2010-02-10
F27B14/10(2006.01)I
上海汉虹精密机械有限公司
吴智洪;徐永亮;贺贤汉
200444上海市宝山区城市工业园区山连路188号
上海天翔知识产权代理有限公司
陈学雯
上海;31
1、一种坩埚升降机构,包括机架、坩埚转轴、磁流体和磁流体安装座,其特征在于,所述机架设置为门型结构;所述机架设置线性导轨,所述线性导轨之间设置筒型的磁流体安装座,所述磁流体安装座内设置磁流体,所述磁流体安装座与滚珠丝杆连接;所述滚珠丝杆一端与机架连接,所述滚珠丝杆另一端与减速器连接;所述减速器通过进行切换的电磁离合器与慢速升降电机连接,所述减速器也与快速升降电机连接。