去光阻温度监测装置

摘要：

本实用新型公开了一种去光阻温度监测装置，该装置包括温度监测器，所述温度监测器具有N路输入管脚，N为大于1的正整数，所述N路输入管脚与去光阻主机台的N个用于放置晶圆的托盘下方的温度传感器一一相连；所述温度监测器具有与所述N路输入管脚一一对应、且在对应输入管脚接收到表示温度异常的温度信号时会被置为有效的N路输出管脚；每一路输出管脚还分别连接有一个用于在该路输出管脚有效时产生提示信号的提示部件，且每一路输出管脚所连接的提示部件产生的所述提示信号各不相同。采用该装置能够使得与对应的输出管脚相连的提示部件产生提示信号，以明确指示出温度异常的晶圆，进而便于针对出现异常的晶圆的温度进行实时地调整。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN200920067201.8

申请日期：2009-01-20

公开/公告号：CN201348720

公开/公告日：2009-11-18

主分类号：G03F7/42(2006.01)I

申请/专利权人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

发明/设计人:蒋俊海

主申请人地址:201203上海市浦东新区张江路18号

专利代理机构:北京德琦知识产权代理有限公司

代理人:王一斌%王 琦

国别省市代码:上海;31

权利要求：

1、去光阻温度监测装置，该装置包括温度监测器，其中，所述温度监测器具有N路输入管脚，N为大于1的正整数，所述N路输入管脚与去光阻主机台的N个用于放置晶圆的托盘下方的温度传感器一一相连；所述温度监测器具有与所述N路输入管脚一一对应、且在对应输入管脚接收到表示温度异常的温度信号时会被置为有效的N路输出管脚；其特征在于，每一路输出管脚还分别连接有一个用于在该路输出管脚有效时产生提示信号的提示部件，且每一路输出管脚所连接的提示部件产生的所述提示信号各不相同。