一种蓝宝石声表面波换能器的制作方法

摘要：

本发明公开了一种蓝宝石声表面波换能器的制作方法，属于声表面波器件制造技术领域。所述方法是在蓝宝石表面先光刻显影声表面波换能器件图形，再用离子注入方法注入金属铝或铜元素；然后，在注入离子后的蓝宝石表面沉积多晶氮化铝压电薄膜；最后，去除光刻胶，得到声表面波换能器图形。此方法通过注入离子使蓝宝石表面电阻率大大降低，导电能力极大增强，从而替代原有的沉积导电薄膜。不需要沉积Al或Au薄膜，也不需要刻蚀过程。因此，操作大大简化，同时器件的抗功率承受力也极大增强。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200910301705.6

申请日期：2009-04-21

公开/公告号：CN101540591

公开/公告日：2009-09-23

主分类号：H03H9/145(2006.01)I

申请/专利权人:中国科学院微电子研究所

发明/设计人:李冬梅;刘 明

主申请人地址:100029北京市朝阳区北土城西路3号中科院微电子所

专利代理机构:北京市德权律师事务所

代理人:王建国

国别省市代码:北京;11

权利要求：

1.一种蓝宝石声表面波换能器的制作方法，其特征在于，所述方法包括下列步骤：步骤A：利用光刻胶在蓝宝石薄膜或蓝宝石单晶表面光刻显影，将声表面波换能器图形区裸露，而非图形区进行掩盖；步骤B：采用离子注入方式注入导电元素；步骤C：在蓝宝石薄膜或蓝宝石单晶表面沉积多晶氮化铝薄膜；步骤D：剥离光刻胶，得到声表面波换能器图形。