光罩及其制造方法

摘要：

本发明提供一种光罩及其制造方法，所述光罩包括：光罩基板，由透明材料构成；可逆变色层，位于所述光罩基板上，所述可逆变色层用于形成可擦写的光罩图案；所述可逆变色层包括至少一层光致变色材料层，所述透明材料包括石英、玻璃或高分子材料。所述光罩能够重复利用，光罩图案可恢复后再次定义，在液晶显示面板的制造过程中可以重复使用所述光罩，从而能够以一种较简便的方式很容易的降低制造成本。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200910146038.9

申请日期：2009-06-10

公开/公告号：CN101576709

公开/公告日：2009-11-11

主分类号：G03F1/14(2006.01)I

申请/专利权人:昆山龙腾光电有限公司

发明/设计人:毛联波;戴文君

主申请人地址:215301江苏省昆山市龙腾路1号

专利代理机构:北京集佳知识产权代理有限公司

代理人:逯长明%王宝筠

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

1、一种光罩，其特征在于，包括：光罩基板，由透明材料构成；可逆变色层，位于所述光罩基板上，所述可逆变色层用于形成可擦写的光罩图案。