化学放大型正性抗蚀剂组合物

摘要：

本发明提供一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，所述化学放大型正性抗蚀剂组合物包含树脂和酸生成剂，所述树脂包含侧链具有酸-不稳定基团的结构单元以及由式(I)表示的结构单元，在式(I)中，R¹表示氢原子等，R’和R”独立地为氢原子等，k表示1至12的整数，R独立地为C1-C6烷基等，并且x表示0至7的整数；所述酸生成剂由式(V)表示，在所述式(V)中，Y¹和Y²各自独立表示氟原子等，R¹²表示可以被取代的C1-C30直链、支链或环状烃基，并且A⁺表示有机抗衡离子。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200910140907.7

申请日期：2009-05-12

公开/公告号：CN101581882

公开/公告日：2009-11-18

主分类号：G03F7/039(2006.01)I

申请/专利权人:住友化学株式会社

发明/设计人:釜渊明;山口训史

主申请人地址:日本国东京都

专利代理机构:中科专利商标代理有限责任公司

代理人:柳春琦

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

1.一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，所述化学放大型正性抗蚀剂组合物包含树脂和酸生成剂，所述树脂包含侧链具有酸-不稳定基团的结构单元以及由式(I)表示的结构单元：其中，R1表示氢原子、卤素原子、C1-C4烷基或C1-C4全氟烷基，R’和R”在每一种情况下都独立地为氢原子或C1-C10直链、支链或环状一价烃基，或R’和R”相互结合，以形成二价无环烃基，所述二价无环烃基与它们所键合的碳原子一起形成亚环烷基，k表示1至12的整数，R在每一种情况下都独立地为C1-C6烷基或-COOR’”，R’”表示可以被卤素原子取代的C1-C15直链、支链或环状烃基，并且所述C1-C15直链、支链或环状烃基中的至少一个-CH2-可以被-O-替代，并且x表示0至7的整数，并且所述酸生成剂由式(V)表示：其中，Y1和Y2各自独立表示氟原子或C1-C6全氟烷基，R12表示可以被选自C1-C6烷基、C1-C6烷氧基、C1-C4全氟烷基、羟基和氰基中的至少一个取代的C1-C30直链、支链或环状烃基，并且所述烃基中的至少一个-CH2-可以被-CO-或-O-取代，或所述烃基中的至少一个氢原子可以被羟基取代，并且A+表示有机抗衡离子。