化学放大型正性抗蚀剂组合物

摘要：

本发明提供一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，其包含：树脂(A)，所述树脂(A)本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液，并且所述树脂(A)包含在侧链中具有酸不稳定基团的结构单元，以及由式(I)表示的结构单元，其中R¹表示氢原子或甲基，环X¹表示具有-COO-的未取代或取代的C3-C30环烃基，并且k表示1至4的整数；树脂(B)，所述树脂(B)包含由式(II)表示的结构单元，其中R²表示氢原子、甲基或三氟甲基；以及酸生成剂。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200910139499.3

申请日期：2009-06-24

公开/公告号：CN101614958

公开/公告日：2009-12-30

主分类号：G03F7/039(2006.01)I

申请/专利权人:住友化学株式会社

发明/设计人:重松淳二;枝松邦茂;宫川贵行;釜渊明

主申请人地址:日本国东京都

专利代理机构:中科专利商标代理有限责任公司

代理人:陈长会

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

1.一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，其包含：树脂(A)，所述树脂(A)本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液，并且所述树脂(A)包含在侧链中具有酸不稳定基团的结构单元，以及由式(I)表示的结构单元：其中R1表示氢原子或甲基，环X1表示具有-COO-的未取代或取代的C3-C30环烃基，并且k表示1至4的整数；树脂(B)，所述树脂(B)包含由式(II)表示的结构单元：其中R2表示氢原子、甲基或三氟甲基；以及酸生成剂。