化学放大型正性抗蚀剂组合物

摘要：

本发明提供了一种化学放大型抗蚀剂组合物，所述组合物包含树脂(A)、树脂(B)和产酸剂，所述树脂(A)不含氟原子而含侧链中有酸不稳定性基团的结构单元(a1)，所述树脂(B)含侧链中有含氟基团的结构单元(b2)和至少一种选自有酸不稳定性基团的结构单元(b1)、有羟基的结构单元(b3)和侧链中有内酯结构的结构单元(b4)的结构单元，其中所述树脂(B)的量为2重量份或更少每100重量份树脂(A)。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200910135320.7

申请日期：2009-04-20

公开/公告号：CN101566798

公开/公告日：2009-10-28

主分类号：G03F7/039(2006.01)I

申请/专利权人:住友化学株式会社

发明/设计人:藤裕介;重松淳二;宫川贵行;安藤信雄;武元一树

主申请人地址:日本东京都

专利代理机构:北京集佳知识产权代理有限公司

代理人:吴亦华%徐一琨

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

1.一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，所述化学放大型正性抗蚀剂组合物包含：树脂(A)，其不含氟原子而含侧链中有酸不稳定性基团的结构单元(a1)，树脂(B)，其含侧链中有含氟基团的结构单元(b2)和至少一种选自有酸不稳定性基团的结构单元(b1)、有羟基的结构单元(b3)和侧链中有内酯结构的结构单元(b4)的结构单元，和产酸剂，其中所述树脂(B)的量为2重量份或更少每100重量份树脂(A)。