加热炉的框环装置

摘要：

本发明提供一种加热炉的框环装置，该加热炉包括一底座及一设置于该底座上的支撑单元，该加热炉的框环装置包括一呈中空环状并套设于该支撑单元上的基板，该基板通过多个套设孔来套设于该支撑单元上，以提升该支撑单元的稳固程度，并进而强化其抗外力强度，再配合形成于该基板上的沟槽组，使该框环装置能吸收制程中热胀冷缩的尺寸变异，确保整体的支撑效能。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200910119495.9

申请日期：2009-03-17

公开/公告号：CN101839647A

公开/公告日：2010-09-22

主分类号：F27D5/00(2006.01)I

申请/专利权人:中国钢铁股份有限公司

发明/设计人:庐坤雄

主申请人地址:中国台湾高雄市

专利代理机构:北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人:刘新宇%王璐

国别省市代码:台湾;71

权利要求：

一种加热炉的框环装置，该加热炉能加热待加热件且包括一个底座、一个能罩覆该底座的内炉罩、一个由该内炉罩与该底座所界定出且用来容置该待加热件的容室、一个位于该容室内且设置于该底座上的支撑单元及一个位于该支撑单元的上方且供该待加热件置放于其上的承载单元，该承载单元包括多个置放于该支撑单元上且分离设置的扩散座及一个置放于所述扩散座的上方供该待加热件置放于其上的承载座；其特征在于，该框环装置包括一块呈一中空环状并套设于该支撑单元上的基板，该基板具有一个上表面、一个相反于该上表面的下表面、一个连接该上表面及该下表面的外周缘的外周面、一个连接该上表面及该下表面的内周缘的内周面、多个由该基板的上表面贯穿至下表面的套设孔及一个由该基板的上表面贯穿至下表面的沟槽组，该沟槽组包括多个与该外周面连通且向该基板的内周面方向延伸，并与该内周面存在一距离的外沟槽及多个与该内周面连通且往该基板的外周面方向延伸，并与该外周面存在一距离的内沟槽，且所述内沟槽及所述外沟槽交错形成于该基板上。