压电振动片及其制法、压电振子、振荡器、电子设备及电波时钟

摘要：

本发明涉及压电振动片的制造方法、压电振动片、压电振子、振荡器、电子设备及电波时钟，能够在制造过程中可靠地防止晶片产生损伤、裂纹或破裂并制造多个压电振动片。其中，压电振动片的制造方法，是从晶片制造多个压电振动片的方法，包括：成膜工序，分别在晶片的两面形成金属膜M；图案形成工序，对金属膜除去在整个周边的从晶片外周边进入内侧一定距离H的区域后，图案化成多个压电振动片的外形形状；外形形成工序，以图案化的金属膜为掩模通过湿蚀刻加工有选择地除去晶片，在尺寸减小一定距离的量的晶片上形成多个压电振动片的外形；以及除去工序，除去金属膜。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200910117912.6

申请日期：2009-02-19

公开/公告号：CN101515791

公开/公告日：2009-08-26

主分类号：H03H3/02(2006.01)I

申请/专利权人:精工电子有限公司

发明/设计人:富山光男;小林高志;须釜一义

主申请人地址:日本千叶县千叶市

专利代理机构:中国专利代理(香港)有限公司

代理人:何欣亭%王丹昕

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

1.一种压电振动片的制造方法，它是从晶片制造多个压电振动片的方法，其特征在于，包括：成膜工序，分别在所述晶片的两面形成金属膜；图案化工序，对所述金属膜，在整个周边除去从所述晶片的外周边进入内侧一定距离的区域之后，图案化成多个所述压电振动片的外形形状；外形形成工序，以图案化的所述金属膜为掩模通过湿蚀刻加工有选择地除去所述晶片，在尺寸减小所述一定距离的量的晶片上形成多个所述压电振动片的外形；以及除去工序，将所述金属膜除去。