一种多层布线用黑色氧化铝基片的制备方法

摘要：

本发明为一种多层布线用黑色氧化铝基片的材料的制备方法，即采用固相法，向主晶相Al₂O₃粉末中加入Co，Mn，Cr，Si，Ti，B，V等元素，对氧化铝进行掺杂改性，降低了氧化铝陶瓷的烧成温度，并在粉体改性的基础上提出了一种黑色氧化铝有机流延成型方法，选择了适合氧化铝的流延成型剂，复合溶剂，复合增塑剂。得到均匀、稳定、高固相含量的浆料，提高了素坯成型质量。使用刮刀法流延，设备简单可行，自然干燥过程方便，干燥过程不会引起坯体的破裂，起皱，和无法脱膜的现象。制得膜体致密，并用机械打孔法来制备叠层基片，得到多层布线用黑色氧化铝基片。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200910060548.4

申请日期：2009-01-16

公开/公告号：CN101483417

公开/公告日：2009-07-15

主分类号：H03H3/007(2006.01)I

申请/专利权人:华中科技大学

发明/设计人:周东祥;赵 俊;龚树萍;胡云香;郑志平;刘 欢;傅邱云

主申请人地址:430074湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

专利代理机构:华中科技大学专利中心

代理人:曹葆青

国别省市代码:湖北;42

权利要求：

1、一种多层布线用黑色氧化铝基片的制备方法，其步骤包括：(1)按照下述配方及质量百分比配制氧化铝基粉体：Al2O384％～91.4％，Co2O30.2％～0.6％，MnO22％～5％，Cr2O31％～4％，SiO20％～6.4％，TiO20.5％～3％，B2O30％～4％，V2O50％～0.3％；(2)利用上述氧化铝基粉体制备陶瓷浆料，其中，黑瓷浆料中氧化铝基粉体的质量百分比为48％～52％；(3)采用流延成型法制备膜状Al2O3陶瓷素坯；(4)在Al2O3陶瓷素坯上制备金属电极，再进行多层共烧，形成多层布线用黑色氧化铝基片。