具防止静电破坏的光罩

摘要：

本发明提出一种具防止静电破坏的光罩，包括多个彼此间隔的金属线，其中，所述相邻两个金属线之间通过至少一金属导线连接，所述金属导线的宽度小于曝光分辨率。本发明提出一种具防止静电破坏的光罩，其能够有效防止静电电荷累积，避免产生静电电荷放电，从而保护光罩。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200910055372.3

申请日期：2009-07-24

公开/公告号：CN101598893

公开/公告日：2009-12-09

主分类号：G03F1/08(2006.01)I

申请/专利权人:上海宏力半导体制造有限公司

发明/设计人:于世瑞

主申请人地址:201203上海市张江高科技圆区郭守敬路818号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所

代理人:郑 玮

国别省市代码:上海;31

权利要求：

1.一种具防止静电破坏的光罩，包括多个彼此间隔的金属线，其特征在于所述相邻两个金属线之间通过至少一金属导线连接。