光刻机硅片台移动装置及采用该移动装置的光刻机

摘要：

本发明涉及一种光刻机硅片台的移动装置及采用该移动装置的光刻机。该光刻机硅片台的移动装置包括：支撑该光刻机硅片台的支撑板；设置于该支撑板的与该硅片台相对一侧的气囊；设置于该支撑板的与该气囊同侧的气垫装置；设置于该支撑板的与该气囊同侧的滚轮；向该气囊内充气，该气囊支撑该支撑板及该光刻机的硅片台，当移动该光刻机硅片台时，该气囊释放气体的同时打开该气垫装置，该气垫装置形成的气垫支撑该支撑板及该硅片台，该光刻机硅片台的移动装置利用该滚轮将该硅片台移出或移入该光刻机。采用本发明的硅片台移动装置的光刻机的硅片台的移入移出过程更加简单，能够确保硅片台与光刻机支撑框架的准确定位，并减少地面振动对硅片台的干扰。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200910055189.3

申请日期：2009-07-22

公开/公告号：CN101609263

公开/公告日：2009-12-23

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:秦 磊;刘 育;王天明;袁志扬

主申请人地址:201203上海市张江张东路1525号

专利代理机构:上海智信专利代理有限公司

代理人:王 洁

国别省市代码:上海;31

权利要求：

1.一种光刻机硅片台的移动装置，其特征在于，该光刻机硅片台的移动装置包括：支撑该光刻机硅片台的支撑板；设置于该支撑板的与该硅片台相对一侧的气囊；设置于该支撑板的与该气囊同侧的气垫装置；设置于该支撑板的与该气囊同侧的滚轮；向该气囊内充气，该气囊支撑该支撑板及该光刻机的硅片台，当移动该光刻机硅片台时，该气囊释放气体的同时打开该气垫装置，该气垫装置形成的气垫支撑该支撑板及该硅片台，该光刻机硅片台的移动装置利用该滚轮将该硅片台移出或移入该光刻机。