双边驱动装置的定位控制系统与方法

摘要：

本发明提出一种双边驱动装置的定位控制系统与方法。带柔性块的H型结构双边驱动装置的定位控制系统包括：比较器、转化器、二阶低通滤波器以及第一加法器。比较器，用于提供X向、Y向以及Rz向的位置误差信号。转化器，耦接比较器，用于转化位置误差信号，以得到第一修正信号。二阶低通滤波器，用于反馈控制信号，以得到第二修正信号。第一加法器，分别耦接转化器与二阶低通滤波器，用于叠加第一修正信号与第二修正信号至控制信号。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200910051546.9

申请日期：2009-05-19

公开/公告号：CN101561635

公开/公告日：2009-10-21

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:赵 娟;吴立伟;陈 锐

主申请人地址:201203上海市张江高科技园区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所

代理人:屈 蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

1.一种双边驱动装置的定位控制系统，其特征在于，包括：比较器，用于提供X向、Y向以及Rz向的位置误差信号；转化器，耦接所述比较器，用于转化所述位置误差信号，以得到第一修正信号；二阶低通滤波器，用于反馈控制信号，以得到第二修正信号；以及第一加法器，分别耦接所述转化器与所述二阶低通滤波器，用于叠加所述第一修正信号与所述第二修正信号至所述控制信号。