一种校准标记位置的装置及方法

摘要：

本发明提出一种校准标记位置的装置与方法，用于获取标记相对于参考光栅的旋转量。该校准标记位置的装置包括：第一采集单元以及图像处理单元。第一采集单元用于采集并输出所述标记的静态图像数据。图像处理单元耦接第一采集单元，并且包括存储单元以及计算单元。存储单元，用于接收静态图像数据，并将所述标记的静态图像数据转化为数字信号。计算单元耦接存储单元，接收所述数字信号以进行计算，得到旋转量。该校准标记位置的装置及方法，可以减少由于实际标记与硅片存在旋转导致的偏差，提高了测量精度，同时省去测量硅片旋转、然后再摆正或修正的步骤，提高了生产效率，增加了产品良率。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200910047952.8

申请日期：2009-03-20

公开/公告号：CN101520613

公开/公告日：2009-09-02

主分类号：G03F9/00(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:朱 健;孙 刚

主申请人地址:201203上海市张江高科技园区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所

代理人:屈 蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

1. 一种校准标记位置的装置，用于获取标记相对于参考光栅的旋转量，其特征在于，包括：第一采集单元，用于采集并输出所述标记的静态图像数据；以及图像处理单元，耦接所述第一采集单元，包括：存储单元，用于接收所述标记的静态图像数据，并将所述标记的静态图像数据转化为数字信号；以及计算单元，耦接所述存储单元，接收所述数字信号以进行计算，得到所述旋转量。