光刻机工件台移动调整装置及方法

摘要：

本发明涉及一种光刻机工件台移动调整装置，其中工件台固定于框架上，包括：气浮单元，设置于工件台底部；驱动单元，设置于所述工件台底部，以驱动所述工件台运动；固定单元，用以将所述工件台固定到所述框架内；以及传感器单元，设置在所述框架上，用以感测所述工件台的位置信息。该工件台移动调整装置及方法能方便的将大质量大尺寸的光刻机工件台移入或移出光刻机框架，并在工件台与框架固定前能对工件台进行6个自由度的调整。且该工件台移动调整装置结构紧凑，所占空间小，承受载荷大，控制简单。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200910047579.6

申请日期：2009-03-13

公开/公告号：CN101510056

公开/公告日：2009-08-19

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司%上海微高精密机械工程有限公司

发明/设计人:郑椰琴;齐芊枫

主申请人地址:201203上海市张江高科技园区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所

代理人:屈 蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

1、一种光刻机工件台移动调整装置，用以调整工件台与框架相对位置，其特征在于，包括：气浮单元，设置于工件台底部；驱动单元，设置于所述工件台底部，以驱动所述工件台运动；固定单元，用以将所述工件台固定到所述框架内；以及传感器单元，设置在所述框架上，用以感测所述工件台的位置信息。