六自由度精密定位平台

摘要：

本发明提出一种六自由度精密定位平台，包括：基座；X向长程电机，包括第一定子和第一动子；Y向长程电机，包括第二定子和第二动子；微动台，横跨于所述第一动子，包括动平台、三个支撑驱动杆、压电陶瓷驱动器。其中，每个支撑驱动杆至多连接三个所述压电陶瓷驱动器，三个支撑驱动杆中至少有一个支撑驱动杆连接有三个所述压电陶瓷驱动器，且三个支撑驱动杆所连接的所述压电陶瓷驱动器的总数不小于六个。本发明的定位平台结构简单、运动响应速度快，相比于以往的压电陶瓷精密定位平台提高了行程，且增加了微动台稳定性，并且使解耦控制变得简单。使用本发明的定位平台可以起到主动减振的作用。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200910046824.1

申请日期：2009-02-27

公开/公告号：CN101487989

公开/公告日：2009-07-22

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:马雨雷

主申请人地址:201203上海市张江高科技园区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所

代理人:屈 蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

1. 一种六自由度精密定位平台，其特征在于，包括基座；X向长程电机，包括第一定子和第一动子；Y向长程电机，包括第二定子和第二动子；其中，所述第一定子与所述第二动子固定连接，所述第二定子通过连接块固定在所述基座上；微动台，横跨于所述第一动子，包括动平台、三个支撑驱动杆、压电陶瓷驱动器；其中所述每个支撑驱动杆的一端分别通过一个第一连接机构与所述动平台连接，所述每个支撑驱动杆的另一端分别通过一个第二连接机构与所述压电陶瓷驱动器相连，且所述每个支撑驱动杆至多连接三个所述压电陶瓷驱动器，三个所述支撑驱动杆与所述动平台的三个连接点不在同一直线上；其中所述三个支撑驱动杆中至少有一个支撑驱动杆连接有三个所述压电陶瓷驱动器，且三个支撑驱动杆所连接的所述压电陶瓷驱动器的总数不小于六个。