光刻设备的传感器装置、制造方法与自校准方法
本发明提出一种光刻设备的传感器装置、制造方法与自校准方法，通过设计旋转光学模块安装穴、旋转光学模块、旋转调节控制和信号调理基板安装穴和旋转调节控制和信号调理基板等结构，降低了旋转光学模块安装穴的制造难度，同时提高了传感器装置对于不同部件装配精度的适应性；本发明提出的光刻设备传感器装置的制造方法，保证了传感器装置能够使用常规半导体工艺进行制造，保证了制造精度；在使用光刻设备的传感器装置过程中通过采用旋转光学模块的自校准方法，提高了该装置在光刻设备工作环境下的结构稳定性，保证了该传感器装置的探测精度。
发明专利
CN200910046309.3
2009-02-18
CN101487986
2009-07-22
G03F7/20(2006.01)I
上海微电子装备有限公司
李焕炀;宋海军;徐荣伟
201203上海市张江高科技园区张东路1525号
上海思微知识产权代理事务所
屈 蘅%李时云
上海;31
1、一种光刻设备的传感器装置，置于光刻设备中工件基准高度处，该光刻设备具有投影系统，用于将带图案的辐射光束投射到工件目标部分以形成辐射空间图案，该传感器装置用于调制辐射空间图案并探测该图案的中心位置，其特征在于，所述传感器装置包括：空间调制图案板、旋转光学模块、旋转调节控制和信号调理基板，所述空间调制图案板的正面具有透射调制图案和反射调制图案，背面具有容设所述旋转光学模块的安装穴和容设所述旋转调节控制和信号调理基板的安装穴；所述旋转光学模块包括旋转光学支架和光子转换晶体，其中光子转换晶体安装于旋转光学支架的通孔中，旋转光学支架圆形周边分布有传动齿轮；所述旋转调节控制和信号调理基板包括光辐射探测器阵列、滤波片、带传动齿轮的旋转步进电机、旋转定位器、旋转定位器控制电路和光辐射探测器阵列信号调理电路，旋转定位器控制电路用于控制旋转定位器对旋转光学支架进行旋转定位，光辐射探测器阵列信号调理电路被用于对光辐射探测器阵列进行信号调理和传输。