一种光束传输装置及方法

摘要：

本发明提出一种光束传输装置，用于将激光器出射的光束传输到基础照明系统，在所述光束的光路上，放置光束控制单元，在所述光束的光路上，放置有一分束器，所述光束经过所述分束器后被分成第一光束和第二光束，所述第一光束的光路上设置一光束出口，所述第二光束的光路上设置光束测量单元，所述光束控制单元和所述光束测量单元都和一控制器相连，本发明能够实时测量光束的位置和角度，并根据测量结果及时调节光束的位置和角度，确保了照明系统远心和均匀性的稳定性。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200910046305.5

申请日期：2009-02-18

公开/公告号：CN101487983

公开/公告日：2009-07-22

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:郭 勇;曹昇炜

主申请人地址:201203上海市张江高科技园区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所

代理人:屈 蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

1. 一种光束传输装置，用于将激光器出射的光束传输到基础照明系统，在所述光束的光路上，放置光束控制单元，其特征在于：在所述光束的光路上，放置有一分束器，所述光束经过所述分束器后被分成第一光束和第二光束，所述第一光束的光路上设置一光束出口，所述第二光束的光路上设置光束测量单元，所述光束控制单元和所述光束测量单元都和一控制器相连。