一种调平调焦机构及使用所述机构的微动台和工件台

摘要：

本发明揭露了一种调平调焦机构及使用所述机构的微动台和工件台，调平调焦机构包括其上放置有曝光台的底板；与所述底板连接的水平向微调装置，其使得所述底板在水平方向上微调；与所述底板连接的垂向驱动装置，其使得所述底板在垂直方向上移动；及支撑部，支撑所述数所述底板、所述水平向微调装置及所述垂向驱动装置。所述垂向驱动装置位于所述水平向微调装置的下方。本发明的调平调焦机构的水平向微调机构和垂向驱动机构分开。这样该调平调焦机构水平向加速时对垂向机构的影响变得非常小，垂向机构就不会影响到水平向微动的行程。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200910045941.6

申请日期：2009-01-22

公开/公告号：CN101533226

公开/公告日：2009-09-16

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司%上海微高精密机械工程有限公司

发明/设计人:齐芊枫;李志龙;李正贤;齐宁宁

主申请人地址:201203上海市张江高科技园区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所

代理人:屈 蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

1. 一种调平调焦机构，包括：水平向微调装置，垂向驱动装置及支撑部件；其特征在于：所述水平向微调装置由一调平调焦板及多个补偿电机组成。