一种用于调焦调平的光学系统

摘要：

本发明公开了一种用于调焦调平的光学系统，包括：照明单元、标记板、倾斜成像单元、投影成像单元、接受成像单元、校正成像单元和探测器；所述的照明单元提供均匀照明的宽带光，照明到标记板上，所述标记板经所述倾斜成像单元成一倾斜标记像，所述倾斜标记像经所述投影成像单元成像到硅片面上，经所述硅片面反射后再经所述接受成像单元成像为接受标记，再经过所述校正成像单元到所述探测器上。本发明基于Scheimpflug条件提出的用于调焦调平系统的新方案，其用成像的方式把一个垂直的平面变成一个倾斜的平面，从而降低反射损耗以及设计难度。同时在远心光学系统的近测量平面方采用远摄结构的镜头达到减小焦距扩大工作距的目的。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200910045939.9

申请日期：2009-01-22

公开/公告号：CN101477319

公开/公告日：2009-07-08

主分类号：G03F9/00(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:张 冲;徐 兵;李志丹

主申请人地址:201203上海市张江高科技园区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所

代理人:屈 蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

1、一种用于调焦调平的光学系统；其特征在于，包括：照明单元、标记板、倾斜成像单元、投影成像单元、接受成像单元、校正成像单元和探测器；所述的照明单元提供均匀照明的宽带光，照射到标记板上，所述标记板经所述倾斜成像单元成一倾斜标记像，所述倾斜标记像经所述投影成像单元成像到硅片面上，经所述硅片面反射后再经所述接受成像单元成像为接受标记，再经过所述校正成像单元到所述探测器上。