具有安全保护功能的柔性定位结构

摘要：

本发明公开的具有安全保护功能的柔性定位结构包括：物料夹持器；运动机构，与物料传输系统相连接，所述运动机构表面上具有弧形槽、V形长槽；弹性机构，其一端固定于所述运动机构，另一端与所述物料夹持器点接触；螺钉组件，所述螺钉组件穿过所述物料夹持器，与运动机构表面相接触，其特征在于：部分螺钉组件定位于所述弧形槽及V形长槽；传感器，用于检测所述物料夹持器的位移变化。本发明提供的柔性定位结构能够在系统出现故障或发生人为误操作导致物料夹持器产生机械碰撞的情况下，对掩模版、物料夹持器以及传输系统的运动机构起到保护作用，大大降低了设备受到的损害。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200910045242.1

申请日期：2009-01-13

公开/公告号：CN101526751

公开/公告日：2009-09-09

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司%上海微高精密机械工程有限公司

发明/设计人:马 佳;马喜宝

主申请人地址:201203上海市张江高科技园区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所

代理人:屈 蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

1.一种具有安全保护功能的柔性定位结构，包括：物料夹持器；运动机构，与物料传输系统相连接，所述运动机构表面上具有弧形槽、V形长槽；弹性机构，其一端固定于所述运动机构，另一端与所述物料夹持器点接触；螺钉组件，所述螺钉组件穿过所述物料夹持器，与运动机构表面相接触，其特征在于：部分螺钉组件定位于所述弧形槽及V形长槽；传感器，用于检测所述物料夹持器的位移变化。