压电振动片及其制造方法、晶圆、包括压电振动片的装置
本发明涉及压电振动片及其制造方法、晶圆、包括压电振动片的装置。为了容易、精确和高效地执行频率调节且在不受压电振动片尺寸影响的情况下实现低成本构型及维护性能的提升，提供了一种制造压电振动片的方法，其是一种通过利用晶圆来制造具有压电板、一对激励电极及一对安装电极的方法，该方法包括：外形形成步骤，其在晶圆上形成构架部并形成经由连接部而连接到构架部的多个压电板；电极形成步骤，其将成对的激励电极和成对的安装电极形成至多个压电板上，以及形成经由连接部而分别电连接到成对的安装电极上的多对延伸电极；频率调节步骤，其在成对延伸电极之间施加驱动电压的同时调节压电板频率；以及切割步骤，其使多个压电板分成片段。
发明专利
CN200910008254.7
2009-02-16
CN101510765
2009-08-19
H03H3/02(2006.01)I
精工电子有限公司
小林高志
日本千叶县千叶市
中国专利代理(香港)有限公司
曾祥夌%曹 若
日本;JP
1. 一种制造多个压电振动片的方法，所述多个压电振动片均包括压电板、一对激励电极以及一对安装电极，所述激励电极形成于所述压电板的外表面上，用于当对所述激励电极施加预定的驱动电压时使得所述压电板振动，所述安装电极通过沿着所述压电板的宽度方向构成预定的间距而形成为处于平行对齐的状态，并且利用由压电材料制成的晶圆同时分别电连接到所述一对激励电极上，所述方法包括：外形形成步骤，其通过利用光刻技术来刻蚀所述晶圆而形成构架部，以及形成为使所述多个压电板经由连接部以悬臂形状、以将所述多个压电板的基部端侧引导至所述构架部的状态连接到所述构架部上；电极形成步骤，其通过将电极膜图案化到所述晶圆上而分别使成对的激励电极和成对的安装电极形成到所述多个压电板上，并且形成经由所述构架部上的连接部而分别电连接到所述成对的安装电极上的多对延伸电极；频率调节步骤，其通过在所述成对的延伸电极之间施加驱动电压来使得所述压电板振动的同时，调节所述压电板的频率；以及切割步骤，其通过切割所述连接部而使所述多个压电板成为片段。