二氧化硅类正型感光性树脂组合物

摘要：

本发明涉及一种二氧化硅类正型感光性树脂组合物，作为平板显示器等的绝缘膜材料，具有正型感光特性、透明性、感光性、耐热性高、并且介电常数低。使用一种二氧化硅类正型感光性树脂组合物作为绝缘膜材料，所述二氧化硅类正型感光性树脂组合物含有下述成分：成分(a)：R¹OCOASiX₃(R¹、A表示有机基团、X为水解性基团)表示的硅氧烷树脂；成分(b)：具有能在酸的作用下分解的官能团、在酸的作用下对碱显影液的溶解性增大的阻溶化合物；成分(c)：作为在光或电子射线的照射下产生酸的化合物的产酸剂；成分(d)：能溶解成分(a)的溶剂，组合物中的成分(a)的配合比例为5～50重量％。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200910004721.9

申请日期：2009-02-20

公开/公告号：CN101551589

公开/公告日：2009-10-07

主分类号：G03F7/075(2006.01)I

申请/专利权人:日立化成工业株式会社

发明/设计人:小岛恭子;阿部浩一

主申请人地址:日本东京都

专利代理机构:北京市金杜律师事务所

代理人:杨宏军

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

1、一种二氧化硅类正型感光性树脂组合物，所述正型感光性树脂组合物含有下述成分各至少一种以上：成分(a)：含有下述通式(1)表示的化合物的水解缩聚得到的碱水溶液可溶性的硅氧烷树脂，R1OCOASiX3 (1)式中，R1、A表示有机基团，X表示水解性基团；成分(b)：具有能在酸的作用下分解的官能团、在酸的作用下对碱显影液的溶解性增大的阻溶化合物；成分(c)：作为在光或电子射线的照射下产生酸的化合物的产酸剂；成分(d)：能溶解成分(a)的溶剂；其中，组合物中的成分(a)的配合比例为5～50重量％。