光致抗蚀剂组合物和使用该组合物制造阵列基板的方法

摘要：

本发明涉及一种光致抗蚀剂组合物，其包含：由苯酚化合物制备的酚醛清漆树脂、双叠氮化合物和有机溶剂，其中间甲酚占所述苯酚化合物重量的约70重量％～约85重量％。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200910004485.0

申请日期：2009-03-04

公开/公告号：CN101526738

公开/公告日：2009-09-09

主分类号：G03F7/012(2006.01)I

申请/专利权人:东进世美肯株式会社

发明/设计人:朴廷敏;郑斗喜;李义国;金柄郁;金东敏

主申请人地址:韩国仁川市

专利代理机构:北京三友知识产权代理有限公司

代理人:丁香兰%谭 辉

国别省市代码:韩国;KR

权利要求：

1.一种光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂组合物包含：由苯酚化合物制成的酚醛清漆树脂，其中间甲酚占所述苯酚化合物重量的约70％～约85％；双叠氮化合物；和有机溶剂。