声表面波器件及声表面波振荡器
本发明提供一种声表面波器件,可以减小电极指的线宽变动时的频率变动量的差别,并且适合于批量生产。声表面波器件(10)具有作为至少激励瑞利波式声表面波的电极图案(14)的IDT(16),激励所述声表面波的阻带的上限模式,所述声表面波器件的特征在于,用于形成IDT(16)的压电基板(12)采用晶体基板,该晶体基板是以利用(φ,θ,ψ)表示的欧拉角为(0°,95°≤θ≤155°,33°≤|ψ|≤46°)的切角切取的,在构成IDT(16)的梳齿状电极(18(18a、18b))的电极指之间形成电极指间槽(槽28),把由槽(28)夹持的晶体部分作为电极指座(30),电极指(22)位于电极指座(30)的上面。
发明专利
CN200910004257.3
2009-02-18
CN101515792
2009-08-26
H03H9/145(2006.01)I
爱普生拓优科梦株式会社
饭泽庆吾
日本东京都日野市日野421-8
北京三友知识产权代理有限公司
黄纶伟%马建军
日本;JP
1.一种声表面波器件,具有作为至少激励瑞利波式声表面波的电极图案的IDT,激励所述声表面波的阻带的上限模式,所述声表面波器件的特征在于,用于形成所述IDT的压电基板采用晶体基板,该晶体基板是以利用