压电振动器的制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟

摘要：

本发明的压电振动器的制造方法，制造这样的压电振动器，其包括：具备一对振动腕部的音叉型压电振动片、收容所述压电振动片的封装件、和对应于所述振动腕部并沿着所述振动腕部的长度方向形成的调整膜，通过对所述调整膜照射激光而使所述调整膜的一部分蒸发，从而能够提高所述封装件内的真空度，该制造方法包括：频率测量工序，测量所述压电振动片的频率；以及吸气工序，在所测量的所述频率高于容许范围时使对应于所述振动腕部的前端侧的位置的调整膜的一部分蒸发，在所测量的所述频率低于所述容许范围时使对应于所述振动腕部的基部侧的位置的调整膜的一部分蒸发。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200880131835.3

申请日期：2008-08-27

公开/公告号：CN102197587A

公开/公告日：2011-09-21

主分类号：H03H3/02(2006.01)I

申请/专利权人:精工电子有限公司

发明/设计人:山口由美;须釜一义

主申请人地址:日本千叶县

专利代理机构:中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人:何欣亭%王忠忠

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种压电振动器的制造方法，制造这样的压电振动器，其包括：具备一对振动腕部的音叉型压电振动片、收容所述压电振动片的封装件、及对应于所述振动腕部并沿着所述振动腕部的长度方向形成的调整膜，通过对所述调整膜照射激光而使所述调整膜的一部分蒸发，从而能够提高所述封装件内的真空度，所述制造方法的特征在于，包括：频率测量工序，测量所述压电振动片的频率；以及吸气工序，在测量的所述频率高于容许范围时使对应于所述振动腕部的前端侧的位置的调整膜的一部分蒸发，在测量的所述频率低于所述容许范围时使对应于所述振动腕部的基部侧的位置的调整膜的一部分蒸发。