压电振动器的制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟

摘要：

本发明的压电振动器的制造方法，制造这样的压电振动器，其包括：具备一对振动腕部的音叉型压电振动片、收容所述压电振动片的封装件、和与所述一对振动腕部的每一个对应且沿着所述振动腕部的长度方向形成的一对调整膜，通过向所述调整膜照射激光使所述调整膜的一部分蒸发，从而能够将所述封装件内的真空度调整到一定水平以上，所述制造方法包括吸气工序，向隔着所述一对调整膜中的所述一对振动腕部的中心轴对称的位置照射所述激光。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200880131833.4

申请日期：2008-08-27

公开/公告号：CN102197585A

公开/公告日：2011-09-21

主分类号：H03H3/02(2006.01)I

申请/专利权人:精工电子有限公司

发明/设计人:山口由美;须釜一义

主申请人地址:日本千叶县

专利代理机构:中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人:何欣亭%王忠忠

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种压电振动器的制造方法，制造这样的压电振动器，其包括：具备一对振动腕部的音叉型压电振动片、收容所述压电振动片的封装件、和与所述一对振动腕部的每一个对应且沿着所述振动腕部的长度方向形成的一对调整膜，通过向所述调整膜照射激光使所述调整膜的一部分蒸发，从而能够将所述封装件内的真空度调整到一定水平以上，所述制造方法的特征在于，包括吸气工序，向隔着所述一对调整膜中的所述一对振动腕部的中心轴对称的位置照射所述激光。