压电振动器的制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟
本发明的压电振动器的制造方法，在将形成有贯通电极(32、33)的基底基板(50)和整个下表面被接合膜(3b)覆盖的盖基板(40)进行阳极接合时，进行如下工序：叠合工序，在基底基板的上表面接合压电振动片(4)之后，以使该压电振动片收纳于空腔(C)内的方式将盖基板重叠在基底基板；设置工序，将由接合温度下其内部的离子可以移动的材料构成的临时材料(R)承载于电极板(J)上，并且以基底基板为临时材料一侧的状态将叠合的两基板承载于临时材料上；以及施加工序，在加热至接合温度之后，对电极板与接合膜之间施加接合电压。
发明专利
CN200880127539.6
2008-12-12
CN101953068A
2011-01-19
H03H3/02(2006.01)I
精工电子有限公司
荒武洁;川田保雄
日本千叶县
中国专利代理(香港)有限公司 72001
何欣亭%徐予红
日本;JP
一种压电振动器的制造方法，其特征在于：制造包括以下部分的压电振动器：由玻璃材料构成的基底基板；由玻璃材料构成的盖基板，该盖基板的整个下表面被接合膜覆盖，以与基底基板之间形成空腔的方式隔着接合膜而与基底基板阳极接合；压电振动片，以收纳于空腔内的状态接合至基底基板的上表面；外部电极，形成在基底基板的下表面；以及贯通电极，以贯通基底基板的方式形成，并电连接压电振动片与外部电极，所述制造方法在将所述基底基板与所述盖基板阳极接合时进行以下工序：叠合工序，在形成有所述贯通电极的所述基底基板的上表面接合了所述压电振动片之后，以使该压电振动片收纳于所述空腔内的方式将所述盖基板重叠在基底基板；设置工序，将由在接合温度下其内部的离子可以移动的材料构成的临时材料承载于电极板上，并且以使所述基底基板为临时材料一侧的状态将叠合的所述两基板承载于临时材料上；以及施加工序，在加热至所述接合温度之后，对所述电极板和所述接合膜之间施加接合电压。