压电振动器的制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟

摘要：

本发明提供一种压电振动器(1)，该压电振动器具备：基底基板(2)；盖基板(3)，形成有空腔用的凹部(3a)，在使该凹部与基底基板对置的状态下，与该基底基板接合；压电振动片(4)，在收纳于形成在两基板之间的空腔内的状态下，与基底基板的上表面接合；一对外部电极(38、39)，形成于基底基板的下表面；一对贯通电极(32、33)，在贯通基底基板的状态下，通过含有多个金属微粒和多个金属珠(P1)的膏(P)的固化而形成，维持空腔内的气密，并且，分别与一对外部电极电连接；以及迂回电极(36、37)，形成于基底基板的上表面，使一对贯通电极分别与压电振动片电连接，其中，金属珠的熔点比膏的烧结温度更高。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200880127403.5

申请日期：2008-12-12

公开/公告号：CN101946407A

公开/公告日：2011-01-12

主分类号：H03H9/02(2006.01)I

申请/专利权人:精工电子有限公司

发明/设计人:沼田理志;荒武洁

主申请人地址:日本千叶县

专利代理机构:中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人:何欣亭%徐予红

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种压电振动器，具备：基底基板；盖基板，形成有空腔用的凹部，在使该凹部与所述基底基板对置的状态下，与该基底基板接合；压电振动片，在利用所述凹部而收纳于形成在所述基底基板和所述盖基板之间的空腔内的状态下，与基底基板的上表面接合；一对外部电极，形成于所述基底基板的下表面；一对贯通电极，在贯通所述基底基板的状态下，通过含有多个金属微粒和多个金属珠的膏的固化而形成，维持所述空腔内的气密，并且，分别与所述一对外部电极电连接；以及迂回电极，形成于所述基底基板的上表面，使所述一对贯通电极分别与所接合的所述压电振动片电连接，其中，所述金属珠的熔点比所述膏的烧结温度高。