压电振动器的制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟

摘要：

本发明的压电振动片，其中包括：基底基板；盖基板，在该盖基板形成有空腔用的凹部，在使所述凹部与所述基底基板对置的状态下接合于所述基底基板；压电振动片，利用所述凹部而在所述基底基板与所述盖基板之间形成的空腔内收容的状态下，接合到基底基板的上表面；外部电极，形成在所述基底基板的下表面；贯通电极，以贯通所述基底基板的方式形成，维持所述空腔内的气密并且对所述外部电极分别电连接；以及迂回电极，形成在所述基底基板的上表面，使所述贯通电极分别对所接合的所述压电振动片电连接，通过包含多个金属微粒及多个玻璃珠的膏的固化来形成所述贯通电极。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200880127380.8

申请日期：2008-10-31

公开/公告号：CN101946405A

公开/公告日：2011-01-12

主分类号：H03H9/02(2006.01)I

申请/专利权人:精工电子有限公司

发明/设计人:沼田理志;荒武洁;须釜一义;栗田澄彦

主申请人地址:日本千叶县

专利代理机构:中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人:何欣亭%徐予红

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种压电振动器，其特征在于，包括：基底基板；盖基板，该盖基板形成有空腔用的凹部，并使所述凹部与所述基底基板对置的状态与所述基底基板接合；压电振动片，该压电振动片以收容于利用所述凹部而在所述基底基板与所述盖基板之间形成的空腔内的状态，接合到基底基板的上表面；外部电极，形成在所述基底基板的下表面；贯通电极，以贯通所述基底基板的方式形成，维持所述空腔内的气密，并且对所述外部电极分别电连接；以及迂回电极，该迂回电极形成在所述基底基板的上表面，对接合的所述压电振动片分别电连接所述贯通电极，通过包含多个金属微粒及多个玻璃珠的膏材料的固化来形成所述贯通电极。