压电振动器的制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟

摘要：

本发明提供一种压电振动器(1)，其中包括：两面被研磨加工的基底基板(2)；形成有空腔(C)用的凹部(3a)并与基底基板接合的盖基板(3)；以收容于在两基板之间形成的空腔内的状态接合至基底基板的上表面的压电振动片(4)；形成在基底基板的下表面的一对外部电极(38、39)；以贯通基底基板的方式形成且维持空腔内的气密的同时对一对外部电极分别电连接的一对贯通电极(32、33)；以及形成在基底基板的上表面并对接合的压电振动片分别电连接一对贯通电极的迂回电极(36、37)，贯通电极通过包含形成为非球形形状的多个金属微粒的膏的固化来形成。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200880127366.8

申请日期：2008-12-12

公开/公告号：CN101946404A

公开/公告日：2011-01-12

主分类号：H03H9/02(2006.01)I

申请/专利权人:精工电子有限公司

发明/设计人:鬼塚修;须釜一义;栗田澄彦

主申请人地址:日本千叶县

专利代理机构:中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人:何欣亭%王忠忠

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种压电振动器，其特征在于，包括：基底基板，该基底基板的两面被研磨加工；盖基板，该盖基板形成有空腔用的凹部，并且以使该凹部与所述基底基板对置的状态接合至该基底基板；压电振动片，在收容于利用所述凹部而在所述基底基板与所述盖基板之间形成的空腔内的状态下，接合至基底基板的上表面；一对外部电极，形成在所述基底基板的下表面；一对贯通电极，以贯通所述基底基板的方式形成，维持所述空腔内的气密，并且对所述一对外部电极分别电连接；以及迂回电极，形成在所述基底基板的上表面，对于接合的所述压电振动片分别电连接所述一对贯通电极，所述贯通电极通过固化膏来形成，该膏包含形成为非球形形状的多个金属微粒。