兰姆波谐振器

摘要：

兰姆波谐振器(100)，包括至少一个压电层(102)和靠着压电层(102)的第一面放置的第一电极(106)，第一电极的图案在与压电层(102)的第一面所在平面平行的平面上并包括至少两个手指(108)和接触臂(110)，其中每个手指都包括一个与所述臂接触的第一边和相互平行且相隔距离W的另外两边，W由以下公式计算：其中n∈N，valateral：兰姆波的声传播速度，n：兰姆波谐振模式的阶数，f：谐振器的谐振频率，以及与第一面所在平面处于同一水平且位于第一电极的手指之间的压电层的一些部分(114)，这些部分是经过至少部分蚀刻的。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200880112609.0

申请日期：2008-10-22

公开/公告号：CN101953072A

公开/公告日：2011-01-19

主分类号：H03H9/02(2006.01)I

申请/专利权人:国立科学研究中心

发明/设计人:D·贝洛;A·卡特兰;A·A·施拉卡拉;J-M·潘;P·雅里;E·克雷尔夫

主申请人地址:法国巴黎

专利代理机构:永新专利商标代理有限公司 72002

代理人:张扬%王英

国别省市代码:法国;FR

权利要求：

兰姆波谐振器(100、200、300、400、500、600、700)包括：基于至少一种压电材料的至少一个层(102)和靠着该压电层(102)的第一面放置的第一电极(106、206、306、406、506)；所述第一电极在与所述压电层(102)的第一面所在平面平行的平面上的图案包括：至少两个手指(108、408)和接触臂(110、310、510)，其中每个手指(108、408)包括与所述臂(110、310、510)接触的第一边和相互平行且相隔距离W的另外两边，W按下面公式计算： <mrow> <mi>W</mi> <mo>=</mo> <mi>n</mi> <mo>&CenterDot;</mo> <mfrac> <msub> <mi>va</mi> <mi>lateral</mi> </msub> <mi>f</mi> </mfrac> <mo>,</mo> </mrow>其中n∈Nvalateral：兰姆波的声传播速度，n：兰姆波谐振模式的阶数，f：谐振器的谐振频率；以及所述压电层(102)的一些部分(114、116、602)是经过至少部分蚀刻的，其表面与所述压电层(102)的第一面所在平面处于同一水平并位于所述第一电极(106、206、306、406、506)的手指(108、408)之间。