刻印方法和刻印装置

摘要：

一种用于将设置在模具上的刻印图案刻印到形成在基片上的图案形成层上的刻印方法，所述方法由以下步骤构成，所述步骤为：第一个步骤，在所述第一个步骤中，借助反馈控制进行基片与模具之间的对准；第二个步骤，在所述第二个步骤中，使模具与图案形成层相互接触；第三个步骤，在所述第三个步骤中，将图案形成层固化；以及第四个步骤，在所述第四个步骤中，增大基片与模具之间的间隙。所述刻印方法还包括在第一个步骤与第二个步骤之间和/或在第二个步骤与第三个步骤之间将反馈控制停止的步骤。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN200880003889.1

申请日期：2008-02-05

公开/公告号：CN101600993

公开/公告日：2009-12-09

主分类号：G03F7/00(2006.01)I

申请/专利权人:佳能株式会社

发明/设计人:奥岛真吾;末平信人;关淳一;春见和之

主申请人地址:日本东京

专利代理机构:中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人:史雁鸣

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

1.一种刻印方法，用于将设置在模具上的刻印图案刻印到形成在基片上的图案形成层上，所述刻印方法包括：第一个步骤，在所述第一个步骤中，借助反馈控制进行基片和模具之间的对准；第二个步骤，在所述第二个步骤中，使模具和图案形成层相互接触；第三个步骤，在所述第三个步骤中，将图案形成层固化；以及第四个步骤，在所述第四个步骤中，增大基片与模具之间的间隙，其中，所述刻印方法还包括在所述第一个步骤与所述第二个步骤之间和/或在所述第二个步骤与所述第三个步骤之间停止反馈控制的步骤。