300mm立式氧化炉石英舟

摘要：

本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉石英舟，其特征在于：设有支撑杆(1)、加强筋(2)、石英底板(3)、石英顶板(4)；所述支撑杆设有四根，竖向垂直固定在所述石英底板和石英顶板之间，其相互间隔地设置，该间隔方便硅片取放；在该支撑杆上横向设有支撑硅片的支撑齿(1.1)；在支撑杆之间，横向设有加强筋；在所述石英底板的底面设有与氧化炉保温桶联结的卡齿(4.1)。本实用新型适用于立式氧化炉中支撑硅片，具有整体性强，使用方便，具有保障工艺加工效果好的特点。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN200820234113.8

申请日期：2008-12-31

公开/公告号：CN201359440

公开/公告日：2009-12-09

主分类号：F27D5/00(2006.01)I

申请/专利权人:北京七星华创电子股份有限公司

发明/设计人:钟 华;董金卫;赵星梅;胡星强;艾伦·埃马米

主申请人地址:100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号

国别省市代码:北京;11

权利要求：

1、一种300mm立式氧化炉石英舟，其特征在于：设有支撑杆(1)、加强筋(2)、石英底板(3)、石英顶板(4)；所述支撑杆设有四根，竖向垂直固定在所述石英底板和石英顶板之间，其相互间隔地设置，该间隔方便硅片取放，在该支撑杆上横向设有支撑硅片的支撑齿(1.1)；在支撑杆之间，横向设有加强筋；在所述石英底板的底面设有与氧化炉保温桶联结的卡齿(4.1)。