一种用于掩膜版的定位确认装置

摘要：

本实用新型适用于零部件对位确认装置领域，提供了一种用于掩膜版的对位确认装置，它包括定位工具和测量工具，所述定位工具和测量工具活动连接。该装置可精确测量掩膜版在工作平台上的位置是否符合设计要求，大大降低由于掩膜版位置偏移产生的废品数量，可广泛应用于掩膜版的定位确认领域之中。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN200820212006.5

申请日期：2008-09-24

公开/公告号：CN201237696

公开/公告日：2009-05-13

主分类号：G03F9/00(2006.01)I

申请/专利权人:清溢精密光电(深圳)有限公司

发明/设计人:郝明毅

主申请人地址:518057广东省深圳市高新技术工业区北区松坪山朗山二路8号

专利代理机构:深圳中一专利商标事务所

代理人:张全文

国别省市代码:广东;44

权利要求：

1、一种用于掩膜版的对位确认装置，其特征在于：包括定位工具和测量工具，所述定位工具与测量工具活动连接。