可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具

摘要：

本实用新型涉及硬面光掩模基板制造领域以及光学玻璃加工领域，尤其是一种用于硬面光掩模基板制造过程中的承载清洗器具及其装配方法。其由槽口架(a1)、导向定位杆(a2)组合而成；所述的槽口架(a1)由槽口板(b1)、筋板(b3)通过固定件定位连接而成，在槽口板(b1)左右二面开有镜向对称槽(c1)和与对称槽(c1)垂直贯通的底部条形槽(c2)；在槽口板(b1)左右二面端部开有供定位安装导向定位杆(a2)的导向孔(k1)。本实用新型承载清洗器具具有通用性好，灵活方便，整体不易变形，清洗过程中不会出现水流阻挡现象，能有效提高工件的洁净度和操作功效。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN200820150873.0

申请日期：2008-07-16

公开/公告号：CN201222166

公开/公告日：2009-04-15

主分类号：G03F1/00(2006.01)I

申请/专利权人:上海棱光实业股份有限公司

发明/设计人:袁克文

主申请人地址:200241上海市闵行区龙吴路4900号

专利代理机构:上海新天专利代理有限公司

代理人:徐伟奇

国别省市代码:上海;31

权利要求：

1.一种可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具，其特征在于，由槽口架(a1)、导向定位杆(a2)组合而成；所述的槽口架(a1)由槽口板(b1)、筋板(b3)通过固定件定位连接而成，在槽口板(b1)左右二面开有镜向对称槽(c1)和与对称槽(c1)垂直贯通的底部条形槽(c2)；在槽口板(b1)左右二面端部开有供定位安装导向定位杆(a2)的导向孔(k1)。