光罩保护膜框体卸除装置

摘要：

本实用新型提供一种具有加热装置的光罩保护膜框体卸除装置，用以卸除一光罩上的光罩保护膜。此光罩保护膜框体卸除装置包含底座元件、卸除元件、承载元件、固定推杆、加热装置以及卸除元件等，承载元件设置于底座元件上，用以承载光罩，固定推杆则又设置于承载元件上，用以固定承载于承载元件上的具有光罩保护膜的光罩，而加热装置是用以加热具有光罩保护膜的光罩至一预定温度，使得黏合框体与光罩的胶材遇热融化并附着于框体上，另有一卸除元件亦设于底座元件上，用以将框体与光罩分离，为此可避免因胶材的沾黏与拉扯而导致光罩污染或图形损坏。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN200820133633.X

申请日期：2008-09-04

公开/公告号：CN201262685

公开/公告日：2009-06-24

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:家登精密工业股份有限公司

发明/设计人:杨家豪

主申请人地址:中国台湾台北县

专利代理机构:中科专利商标代理有限责任公司

代理人:梁爱荣

国别省市代码:台湾;71

权利要求：

1、一种光罩保护膜框体卸除装置，用以卸除一光罩上的光罩保护膜框体，其中该光罩保护膜框体以胶材黏合一光罩与一框体，形成一内部空间以保护该光罩上的图形，该光罩保护膜框体卸除装置包含：一底座元件；至少一承载元件，设置于该底座元件上，用以承载该光罩；至少一固定推杆，设置于该承载元件上，用以固定承载于该承载元件上的该具有光罩保护膜的光罩；至少一卸除元件，设于该底座元件上，用以将该框体与该光罩分离；其特征在于，具有至少一加热装置，与该底座元件具有电性相接，用以加热该具有光罩保护膜的光罩至一预定温度，使得黏合该框体与该光罩的胶材会遇热融化并附着于该框体上，而遇热融化并附着于该框体上的胶材可随该框体一并取出。