一种显影手臂的限位装置

摘要：

本实用新型涉及一种显影手臂的限位装置。该限位装置包括显影手臂、与显影手臂连接的连接机构、与上述连接机构连接并通过上述连接机构带动显影手臂移动的气缸以及支撑气缸的基座，还包括缓冲模块和停止模块，缓冲模块与非连接部件连接，停止模块位于气缸外侧，不随气缸的移动而移动。上述缓冲模块分为上、下两块；上述非连接件是气缸；上述非连接件是基座；上述限位装置还包含一个柱状的固定支架；上述上、下两块缓冲模块固定于该固定支架上；上述固定支架固定于上述基座上；上述固定方式是螺栓或螺钉固定。本实用新型的限位装置可靠性更高，并有利于提高晶片的合格率。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN200820133243.2

申请日期：2008-09-05

公开/公告号：CN201255806

公开/公告日：2009-06-10

主分类号：G03F7/30(2006.01)I

申请/专利权人:和舰科技(苏州)有限公司

发明/设计人:陈晓琪;胡清强;鲁旭光;陈 耀

主申请人地址:215025江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号

专利代理机构:北京连和连知识产权代理有限公司

代理人:张春媛

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

1. 一种显影手臂的限位装置，包括显影手臂，与显影手臂连接的连接机构，与上述连接机构连接并通过上述连接机构带动显影手臂移动的气缸，支撑气缸的基座，其特征在于还包括缓冲模块和停止模块，缓冲模块与非连接部件连接，停止模块位于气缸外侧，不随气缸的移动而移动。