300mm立式氧化炉炉体炉丝固定装置

摘要：

本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉炉体炉丝固定装置，该固定装置由数个绝缘子组构成，每个绝缘子组设有支撑杆、顶部绝缘子、中部绝缘子、底部绝缘子，该顶部绝缘子、中部绝缘子、底部绝缘子穿在所述支撑杆上，上下相邻两个绝缘子的凹凸部分相互吻合，并各设有一个半圆凹槽相对，形成空隙，该空隙的直径大于炉丝的直径，炉丝支撑在该绝缘子间的空隙中，支撑杆的上下两端分别固定在氧化炉炉体的顶块和底块上；数个绝缘子组在氧化炉炉体内圆周上均匀分布。本实用新型适用于处理300mm硅片的立式氧化炉炉体的炉丝固定，加工工艺好。从而很好支撑了炉丝，由于炉丝固定结构科学、合理，从而延长了炉体寿命。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN200820124687.X

申请日期：2008-12-17

公开/公告号：CN201352062

公开/公告日：2009-11-25

主分类号：F27B1/10(2006.01)I

申请/专利权人:北京七星华创电子股份有限公司

发明/设计人:钟 华;赵星梅;胡星强;艾伦·埃马米

主申请人地址:100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号

国别省市代码:北京;11

权利要求：

1、一种300mm立式氧化炉炉体炉丝固定装置，其特征在于：该固定装置由数个绝缘子组构成，每个绝缘子组设有支撑杆(1)、顶部绝缘子(2)、中部绝缘子(3)、底部绝缘子(4)，该顶部绝缘子、中部绝缘子、底部绝缘子穿在所述支撑杆上，上下相邻两个绝缘子的凹凸部分相互吻合，并各设有一个半圆凹槽相对，形成空隙，该空隙的直径大于炉丝的直径，炉丝支撑在该绝缘子间的空隙中，支撑杆的上下两端分别固定在氧化炉炉体的顶块(5)和底块(5.1)上；数个绝缘子组在氧化炉炉体内圆周上均匀分布，顶部绝缘子的厚度及底部绝缘子的厚度在圆周上依次递增或递减，以保证炉体上下底面水平。