300mm立式氧化炉石英舟旋转装置
本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉石英舟旋转装置，设有步进电机，石英舟的下方设有SiC转盘，在该SiC盘的底部中央设有固定轴，固定轴的下端设有带轮，该带轮通过传动带与步进电机传动连接；在固定轴的下部设有舟旋转定位装置，上部设有密封腔，密封腔设有进出气管，SiC转盘的下面设有带水冷却腔炉门，炉门底部固定设有轴罩，在轴罩的底端与SiC转盘的固定轴之间设有密封环；在炉门下面设有数个缓冲器，在炉门四周下面还设有密封挡板。本实用新型适用于300mm立式氧化炉石英舟的旋转装置，结构完善，控制灵活，水平、垂直位置控制精确。从而使硅片受热均匀，提高了硅片膜厚均匀性。
实用新型
CN200820124684.6
2008-12-17
CN201352059
2009-11-25
F27B1/10(2006.01)I
北京七星华创电子股份有限公司
钟 华;赵星梅;董金卫;王 喆;赛义德·赛迪
100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号
北京;11
1、一种300mm立式氧化炉石英舟旋转装置，其特征在于：设有步进电机(2)，在石英舟的下方设有SiC转盘(1)，在该SiC盘的底部中央设有固定轴(1.1)，固定轴的下端设有带轮(1.2)，该带轮通过传动带(2.1)与步进电机传动连接；在所述固定轴的下部设有舟旋转定位装置(3)，在固定轴的上部设有包裹在固定轴外围的密封腔(4)，密封腔设有氮气进、出气管(4.1)与外面氮气气源连通；在所述SiC转盘的下面设有炉门(5)，在该炉门中设有水冷却腔(5.1)，炉门底部固定设有轴罩(5.2)，该轴罩包覆在密封腔的外面，并在轴罩的底端与所述SiC转盘的固定轴之间设有密封环(5.3)；在炉门下面设有数个缓冲器(6)，该缓冲器为圆柱体，圆柱体里面垂直设有顶柱(6.1)，在该顶柱下面设有压簧(6.2)；在炉门四周下面还设有密封挡板(7)。