匀胶机的排液装置

摘要：

本实用新型公开了一种匀胶机的排液装置，至少包括两个第一排液管，其中一个用于排放匀胶液，另一个用于排放显影液，还包括一个第二排液管，所述两个第一排液管分别与该第二排液管相连通。本实用新型的排液装置，能有效防止匀胶液对排液管的堵塞，显著提高半导体的生产效率，且降低成本。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN200820094858.9

申请日期：2008-06-17

公开/公告号：CN201229467

公开/公告日：2009-04-29

主分类号：G03F7/16(2006.01)I

申请/专利权人:深圳深爱半导体有限公司

发明/设计人:叶宗桂;钟建国;尚 峰

主申请人地址:518029广东省深圳市福田区八卦三路光纤小区2栋3楼

专利代理机构:广州华进联合专利商标代理有限公司

代理人:郑小粤

国别省市代码:广东;44

权利要求：

1. 一种匀胶机的排液装置，至少包括两个第一排液管，其中一个用于排放匀胶液，另一个用于排放显影液，其特征在于，还包括一个第二排液管，所述两个第一排液管分别与该第二排液管相连通。